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    超聲波清洗技術(shù)的新進展
    點擊次數(shù):1704 更新時間:2019-05-24

    一,高頻超聲清洗

        對于像硅片表面小至零點幾微米的超微污染粒子,常規(guī)的超聲波清洗器無能為力,即使增加功率密度也無濟于事。近來發(fā)展了一種兆赫茲級的高頻超聲清洗技術(shù),由于頻率高,空化效應(yīng)已不起作用,因此清洗的關(guān)鍵不是氣泡,是高頻壓力波的擦洗作用,其對污物的去除率接近。高頻清洗近來發(fā)展較快,主要用于超大規(guī)模集成電路芯片的污物清洗,以及硅晶片、陶瓷。光掩膜等特種污物的清洗。

    二,聚焦式清洗

       對于想紡織行業(yè)的噴絲板、過濾器之類微孔物件的清洗,常規(guī)的超聲清洗效果十分不理想,聲強達不到要求,而采用機械掃描聚焦式超聲清洗,噴絲板微孔中的污物脫離則十分明顯。聚焦式清洗要求達到高的聲強,目前選用的頻率以低頻為主,常用20KHZ和15KHZ兩種頻率,個別的頻率也有28KHZ的,其電功率在連續(xù)波情況下一般為500~700w,間隙脈沖工作狀態(tài)下,功率可高一些。

    三,多頻清洗

        即在一只清洗槽中,按裝有兩種或三種以上不同頻率的換能器,由多只發(fā)生器分別推動各自頻率的換能器。我們知道,清洗器工作頻率高時,在液體中空化輕度底而空化密度大,而工作頻率底時則相反。低頻超聲波的強度高,對物體表面清洗有利,高頻超聲波空化密度高,沖擊波能穿達凹槽、細縫、深孔等細微結(jié)構(gòu)。同時缸中有多種頻率的超聲波,也克服了單頻清洗駐波場造成的清洗不均勻問題。

    四,掃頻和跳頻清洗

        掃頻和跳頻清洗都是為了改善槽中的聲場結(jié)構(gòu),前者解決了槽中的不均勻駐波場,是清洗均勻。而跳頻和多頻一樣兼顧到高低頻清洗,不同的是跳頻用的是一個換能器和一個發(fā)生器,其換能器本身有兩個諧振頻率,在諧振點帶寬內(nèi)作連續(xù)的頻率變化,然后跳到另一帶寬內(nèi)進行掃頻清洗,是高低頻交替進行清洗。

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